微差压传感器的原理

微差压开关，是微差压传感器的一种，它利用了MEMS技术，它能够提供很多常闭、常开节点，不带有活动元件，而且具备使用方位不敏感、重复性很好以及使用寿命长等等优点，它的应用领域比较广泛，比如在变风系统以及暖通空调系统等领域。微差压力传感器需要按照一定的规定或者是通过一定的设计结构安装的，它可以把压力前后的改变量有效地转换成为压敏元件的有关变化，接着再由敏感元件的形变所形成的弱信号输出进行相关的处理调制，或者是将其再通过模数转换的处理以及芯片的运算处理，输出数字信号。现在以电容式微差压力传感器为例，介绍一下它的工作原理。压力变送器在被测的物质两侧不一样的压力分别通过高和低两压力室，而作用在敏感元件的两个边缘的隔离膜片上面，然后经过元件和隔离片里的填充溶液，将其输送到处理膜片的两侧，两侧绝缘片上的电极和测量膜片分别形成一个电容器。当两侧所受到的压力大小不一样的时候，测量膜片就会形成一定的位移，它的位移量跟压力差是成正比的关系的，因此两侧的电容量就各不相同了，那么经过振荡以及解调的环节，就可以将其转换成为跟压力成正比关系的信号，最后进行信号的调制就可以顺利得到调制电流了，使用A/D转换器就可以把解调器中的电流有效地转换成为数字信号，微处理器可以利用这个数值来判断输入压力值，最后由微处理器来控制压力传感器的有关工作。